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无锡埃伏特半导体科技有限公司是一家专注于为半导体行业提供高性能等离子体射频解决方案的创新型企业。公司以“成为值得信赖的射频等离子体解决方案供应商”为愿景,秉持以客户为中心、以创新为驱动的价值观,致力于解决半导体制造中的射频等离子体技术挑战,为客户提供高性能、定制化的解决方案。通过持续的技术研发和卓越的服务,埃伏特助力客户提升产品性能和生产效率,推动其在市场竞争中实现商业成功。公司以专业的技术实力和客户至上的理念,努力成为半导体射频等离子体领域的领先供应商,为行业发展贡献力量。
采用在线实时测量技术快速控制技术,实现快速匹配
采用自适应匹配路径算法,保证射频匹配网络匹配路径的可靠性
优化射频匹配网路匹配算法,实现反射功率低于入射功率的1%
自主研发、定制化的射频匹配拓扑设计、创新控制算法、更精准控制、更可靠
采用定制化射频拓扑和改进的网络工艺,平均能效最高提升12%
2MHz
13.56MHz
27.12MHz
40.68MHz
60MHz
从1kw至10kw
连续波
开关脉冲波
多重功率等级脉冲波
自适应匹配技术
在线测量技术
增强信号处理和匹配算法
匹配路径管理技术
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